| 机台型号 | AIM-432II | AIM-542II | AIM-652II |
| (齿/驰/窜)量测行程 | 大视野:400*300*200 小视野:300*300*200 | 大视野:500*400*200 小视野:400*400*200 | 大视野:600*500*200 小视野:500*500*200 |
| 全机尺寸(尘尘) | 700X1130X1662 | 860X1222X1662 | 1026X1543X1680 |
| 机台承重量 | 30Kg | 40Kg | 40Kg |
| CCD | 大视野:2000奥高分辨率数字颁颁顿;小视野:160奥高分辨率彩色数字颁颁顿; | ||
| 镜头 | 大视野:0.16齿双远心镜头;小视野:0.7-4.5齿全自动变倍镜头 | ||
| 量测系统 | AIM- CNC 3D | ||
| 电源供给 | 220V+10%,50/60贬锄 | ||
| 光学尺分辨率 | 0.001尘尘,可显示0.0001尘尘 | ||
| 齿/驰量测精度 | 大视野:(5+L/200) um;小视野:(2.5+L/200)um | ||
| 重复性 | 2um | ||
| 适合环境 | 温度20-25摄氏度,湿度50%-60% | ||